光刻整機廠商上海微電子上市獲新進展！概念股名單來了

作爲國內幾乎是唯一的光刻機整機廠商，上海微電子裝備(集團)股份有限公司（SMEE，下稱“上海微電子”）IPO有了新動態。

近日，中信建投披露關於上海微電子首次公开發行股票並上市輔導工作進展情況報告（第十期）。

定位“賦有國家使命的市場化公司”

該份報告顯示，**截至目前，上海微電子已經建立相對規範的公司治理結構和內部控制體系，但內控制度制定以及實際執行情況，與上市公司標准相比客觀上仍然存在一定差距，財務規範性也仍需進一步完善。

同時，上海微電子目前募集資金投資項目方案及募集資金需求測算，尚未規劃完成。**

關於下一階段IPO輔導，報告稱公司及相關中介機構將繼續針對輔導中的不規範之處及仍存在的問題，研究協商，確定整改方案，指導公司加以落實，並對落實情況進行密切跟蹤檢查。

上海微電子系於2017年12月底與中信建投籤訂前述輔導協議並進行備案，彼時預計整個輔導將持續5個月，即會在2018年5月申請輔導驗收。但後續輔導及IPO工作遠落後於預期。

對比2017年底上海微電子備案報告中的股東名單以及最新的工商資料，可以看到期間部分股東有所變動。光大控股、興橙資本、金石投資旗下私募基金，以及精技智能裝備（南通）有限公司成爲上海微電子新進股東。

其中，光大控股下屬機構爲上海微電子第三大股東，持股比例爲12.6%。成都華西希望集團旗下的投資平台上海光微青合投資中心（有限合夥），在啓動輔導後選擇退出。**

同時，上海微電子法定代表人也從核心創始人賀榮明變更爲幹頻，幹頻目前同時擔任上海電氣副董事長。

上海微電子成立於2002年3月，定位“賦有國家使命的市場化公司”。自“十五”起，先後承擔了多個國家 IC 前道光刻機研制專項任務。在專項技術的輻射下，SMEE根據半導體產業、泛半導體產業和信息技術發展趨勢與市場需求全面布局，开發了系列高端裝備，是國內唯一具備制造多領域、多品種產线應用的高端光刻機供應商。

圖：上海微電子公司官網光刻機產品系列

據上海微電子最新發布的2024年人才招聘計劃介紹，公司近年營業收入復合增長率爲33%，申請專利數共計3900項，獲得授權2800項，研發碩博佔比70%。

上海微電子產品市場優勢主要體現在其後道封裝光刻機領域。據上海微電子介紹，該公司先進封裝光刻機在全球市場的市佔率爲37%，在中國大陸市場的佔有率高達85%。此外，公司LED系列光刻機全球市佔率55%。

今年9月，上海微電子IC光刻機中標珠海天成先進半導體科技有限公司光刻機採購，然而中標設備依然爲後道光刻機。

據華金電子孫遠峰團隊同步發布的研究報告，光刻機爲先進封裝必要設備之一，相比前道光刻機用於芯片的制造，曝光工藝極其復雜，後道光刻機主要用於封裝測試，實現高性能的先進封裝，技術難度相對較小。

前道光刻技術方面，已可量產90nm的光刻機

值得關注的是，**在後摩爾定律時代，先進封裝技術突破對芯片算力提升亦至關重要。

**根據市場調研機構Yole，先進封裝市場規模將從2021年的321億美元，增長到2027年的572億美元，CAGR達10.11%，並預計2025年先進封裝佔比將接近於50%。其中在AI、HPC、HBM等應用驅動下，2.5D/3D封裝近年在各封裝形式中增速較快。

方正證券研報顯示，2022年只有不到20%的數據中心使用2.5D封裝，但在2027年這一比例將有望超過50%；3D封裝將加速在HBM、CPU、GPU中的滲透。

後道封裝光刻機方面，2022年2月，上海微電子推出中國第一台2.5D/3D先進封裝光刻機，並且正式交付客戶。

上海微電子董事長幹頻曾在致辭中表示，本次發運的國內首台2.5D/3D先進封裝光刻機，是量產封裝光刻機的一次全面升級，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面積，將助力客戶實現芯片的異構集成，以相對較低的成本實現芯片系統的性能提升。

在前道光刻技術方面，上海微電子目前已可量產90nm的光刻機。據中航證券電子團隊9月發布的研報，該公司目前最先進的設備爲SSA600/20步進掃描投影光刻機，採用ArF光源，4倍縮小倍率的投影物鏡，高速高精的自減振六自由度工件台掩模台技術，可滿足IC前道制造90nm光刻工藝要求。

上海微電子今年7月接受清華高校調研時，公司人士表示，其28nm光刻機也有望取得突破。據了解，此前外界曾流傳上海微電子28nm光刻機推出時間爲2021年，但類似的“小作文”幾乎每年一個時間版本，新版的發布時間節點將會是在2023年底，該消息從未被公司確證。

“國內前道光刻機研發相比外國起步約晚50年左右，前道光刻機對於精度要求很高，制造難度遠遠高於後道光刻機等其他類型的光刻機，世界上只有少數企業可以生產。”上述公司人士表示，上海微電子在被列入名單之前就已經受到了一些限制，比如某些仿真軟件很難买到，於是公司就开始嘗試自己开發替代品，產品精度與技術先進的公司進行對標，直到達到他們的精度，以此來逐步降低對西方仿真軟件的依賴。

上市公司合作方面：

蘇大維格表示公司向上海微電子提供了光刻機用的定位光柵產品，該器件是該公司光刻機產品的重要部件。

茂萊光學半導體領域主要客戶爲上海微電子，公司光學器件已成功進入上海微電子的供應體系。

炬光科技爲上海微電子等集成電路芯片設備集成商，提供半導體激光退火系統及核心元器件。

富創精密是全球爲數不多的能夠量產應用於7納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。公司此前表示，將在現有產品的基礎上，逐步實現半導體設備精密零部件的國產化，助力國內半導體設備企業實現關鍵設備的自主可控。

金力泰此前公告，控股子公司上海金杜收到上海微電子籤署的《外協件採購通用條款》，正式成爲上海微電子的合格供應商。

張江高科通過全資子公司上海張江浩成創業投資有限公司，持有上海微電子11.73%股權。

阿爲特半導體精密零部件樣品已送達上海微電子，通過供應商標准審核，公司稱爲未來拓展半導體產品奠定了基礎。

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